加速度、陀螺仪传感器工作原理
来源:csdn 2023/3/2加速度传感器
G-sensor（Gravity sensor），重力传感器，又名加速度传感器（accelerometer），是能感知加速度大小的MEMS传感器。
工作原理
如图中的模型， 一个质量块两端通过弹簧进行固定。在没有加速度的情况下，弹簧不会发生形变，质量块静止。当产生加速度时，弹簧发生形变，质量块的位置会发生变化。 弹簧的形变量随着加速度的增大而增大。在弹簧的劲度系统 k 和质量块的质量 m已知的情况下，只要测量出弹簧的形变量，就可以求出系统的加速度。
G-sensor内部有 finger sets, 用来测量产生加速度读时质量块的位移。 每一个finger set 相当两个电容极板， 当有加速度时质量块会产生相对运动，而位移的变化会导致差分电容的变化。
具体的差分电容检测和计算加速度过程由G-sensor内部完成，我们只需要直接读取其转化后的值即可。G-sensor输出值也不是直接的加速度值，它的计量单位是通常用g表示，1g代表一个重力加速度，即9.8m/s^2。1g=1000mg。
这里用一个例子再次强调一下G-sensor的输出值是根据其内部质量块的位移计算得出的：
将G-sensor的Z轴垂直向地，静止放置在水平桌面上，此时G-sensor芯片是静止的，虽然芯片整体加速度为0g，但是读取其输出值，X/Y轴输出为0g，Z轴输出为1g。因为内部质量块在重力加速度的作用下，产生了位移。
G-sensor重要参数
测量范围 Measurement Rang
测量范围是传感器可以支持的输出加速度范围，通常用±g 表示。这就是G-sensor可以测量并准确输出的最大加速度。例如，一个测量范围是±8g G-sensor，它的输出一直到加速度达到±8g 时是线性的。
灵敏度 Sensitivity
灵敏度表示传感器输出随加速度（输入）变化的比例，它定义理想情况下加速度和传感器输出的直线关系。数字输出的传感器的灵敏度通常使用 LSB/g 或mg/LSB 表示。例如，一个灵敏度为4mg/LSB的G-sensor，若其Z轴输出为100，则可计算出Z轴加速度为400mg。
0g偏移 0g-offset
0g 偏移置表示在没有加速度（零输入）时输出的测量值。模拟输出的传感器通常使用伏特或毫伏表示，数字输出的传感器使用码字表示。
不同型号的G-sensor的 0g-offset 不同，同一型号的不同芯片的 0g-offset 也不同，甚至同一颗芯片中不同轴的 0g-offset 也不同，是否需要校正要视具体应用而定。如果应用中只关心加速度的相对变化，而不关心加速度的具体数值，则不需要校正。如果是关心加速度的具体数值，而所选器件的 0g-offset 又比较大，则必须要校正。
某些G-sensor本身有 offset 寄存器，这是只需要把待校准的轴沿水平方向静止放置，测量其 0g 时的输出，并把这个值乘以-1 写入 offset 寄存器即可。如果G-sensor本身没有 offset 寄存器，则需要用户在自己的处理器中记录这个数值，并在实际的测量结果中减去这个 offset。
输出速率 ODR
*ODR（Output Data Rate），表示G-sensor的输出数据的刷新频率。*ODR越高，输出数据更新越快，功耗越高。G-sensor的ODR往往都是可以配置的。
工作模式
陀螺仪传感器的原理
首先了解一下MEMS加速度计的原理，简图如下图所示，其中质量块mass被弹簧springs支撑，使得其只能沿着预定方向位移，从而检测特定方向的加速度；绿的部分是固定的电极板Fixed plates。检测原理是当质量块感受到加速度时，会在相应方向产生位移，从而使得固定电极板构成的两个平行板电容器C1，C2的电容大小发生改变，检测其电容值大小即可换算成相应的加速度
**陀螺仪工作原理简介：**MEMS陀螺仪的检测原理与MEMS加速度计类似，它基于科里奥利效应（Coriolis Effect）所产生的科里奥利力（Coriolis Force）而设计的。
如下图所示，MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，其讯号调节电路可以分为马达驱动和加速度计感测电路两个部分。其中，马达驱动部分是透过静电引动方法，产生一个音叉机制共振运动，为机械元件提供激励；科里奥利力把角速率转换成一个特定感测结构的位移，通过位移产生电容变化，感测部分透过测量电容变化来测量科氏力在感测质量上产生的位移。因为位移大小与所施加的角速率大小成正比，以此可以获得角速度和角加速度量
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