如何标定电涡流位移传感器

　　电涡流位移传感器的标定应根据传感器的设计指标来合理选择标定方法和设备。标定设备的综合精度应比被标定的电涡流位移传感器的等级高出一个等级。为使输出特性稳定，在正式标定之前应对标定的传感器进行循环位移和升降温度老化处理。

　　标定系统包括标准位移给定装置、指示仪表和被标定的位移传感器以及变换器等，如图1.1

图1.1 电涡流位移传感器标定系统方框图

　　标准位移给定装置可视被标定的传感器的精度高低分别选用激光测长仪，万能光学测长仪、阿贝比较仪、千分表示值校定仪、千分表、千分尺、百分表等。动态标定一般使用机械振动台或液压振动台。指示仪器通常用数字电压表、示波器或其他动态记录设备。

　　标定环境：静态、室温20±5℃、相对湿度应小于85%、大气压为760±60毫米汞柱。

　　下面例举其电涡流位移传感器标定实例。他的设计指标是：量程范围0～2毫米，非线性误差低于1.5%，重复性误差0.3%、迟滞误差小于0.2%、灵敏度大于3毫伏/微米。如按均方根误差计算，它的精度为1.55%，为此，标准位移给定装置选用千分表示值校定仪，它的精度要求为0.6%。指示仪表选用数字电压表。它的要求为0.03%±1个字。

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